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有機廢氣處理設備多種多樣，工作原理也各不相同。有機廢氣是氣態污染物的主要成分，來自各個行業。主要成分為甲苯、非甲烷總烴、乙酸乙酯、丙酮、丁醇、二甲苯、甲苯等。廢氣成分因行業不同而不同。

光氧催化的工作原理有機廢氣處理設備:利用高臭氧紫外光束照射廢氣，使氨氣、硫化氫、甲硫基氫、甲硫醇、甲硫醚、醋酸丁酯、醋酸乙酯、二甲基二硫醚、二硫化碳等工業廢氣和苯乙烯、硫化H2S、VOC、苯、甲苯、二甲苯等分子鏈結構裂解，使有機或無機聚合物利用高臭氧紫外紫外光光束分解空氣中的氧分子，產生游離氧，即活性因為游離氧攜帶的正負電子不平衡，需要與氧分子結合產生臭氧。U+O2 → O-+O *(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。眾所周知，臭氧對有機物有很強的氧化作用。工業廢氣處理通過排氣設備輸入該凈化設備后，凈化設備利用UV紫外線光束和臭氧對工業廢氣進行協同分解和氧化反應，使工業廢氣降解轉化為低分子化合物、水和二氧化碳，然后通過排氣管排出室外。

低溫等離子體有機廢氣處理設備工作原理:低溫等離子體是繼固體、液體、氣體之后的第四種物質狀態。當施加的電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被分解，產生包括電子、各種離子、原子和自由基的混合物。雖然放電過程中電子溫度很高，但重粒子的溫度很低，整個系統處于低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物就是利用這些電子、自由基等活性粒子與廢氣中的污染物發生反應，使污染物分子在極短的時間內分解，并發生各種后續反應，達到降解污染物的目的。(注:與高溫等離子體相比，低溫等離子體在常溫下運行。)

活性炭吸附有機廢氣處理設備工作原理:活性炭是一種多孔碳質材料，具有高度發達的孔隙結構。活性炭的多孔結構為其提供了大量的表面積，可以與氣體(雜質)充分接觸，從而賦予活性炭吸附性能，使其非常容易達到吸附收集雜質的目的。就像磁力一樣，所有的分子都相互吸引。正因為如此，活性炭孔壁上的大量分子才能產生強大的吸引力，從而達到將有害雜質吸入孔徑的目的。

RTO廢氣焚燒爐的工作原理:有機廢氣先在預熱，然后進入氧化室，加熱到800℃左右，使廢氣中的VOCs被氧化分解成二氧化碳和水；氧化后的高熱氣體在進行熱處理，然后煙氣從RTO系統排出。這個過程連續循環，每個器交替地在輸入廢氣和排出工藝氣體的模式之間切換。切換時間可以根據實際情況進行調整。

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